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电子防潮箱自产氮氮气柜工业精密烘箱环境试验箱非标定制升级维修服务其他
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电子防潮箱自产氮氮气柜工业精密烘箱环境试验箱非标定制升级维修服务其他
适用于半导体晶圆后段晶圆片清洗之后的软烤，硬烤，电镀工艺，采用SUS304洁净不锈钢材质，进口超高效H.E.P.A过滤器，自动开关风门结构，通过内部不断循环过滤，不断过滤内部partical快速形成无氧洁净环境，机台采用大功率三相静音低震动马达，不锈钢涡轮扇叶，独特设计涡轮结构，结合双循环风道，形成风量均匀的循环热风，实现高洁净，温度均匀的无氧烘烤环境，确保烘烤物料受热均匀，无氧化现象发生。
| 设备型号 | FDC-2 | FDC-3 | FDC-4 | FDC-5 | FDC-2D | FDC-3D |
| 控温范围 | 50~200℃(最高可订制400℃） | |||||
| 温度分辨率 | 0.1℃ | |||||
| 温度波动度 | ±0.5℃ | |||||
| 温度均匀度 | ±1.5%（200℃恒温空载测试数据） | |||||
| 洁净度 | class10/100/1000 | |||||
| 过滤器效率 | H13~H14 | |||||
| 内部尺寸mm | W600*D500*H600 | W600*D500*H900 | W800*D600*H1000 | W800*D800*H1000 | (W600*D600*H500)*2箱 | (W400*D400*H400)*3箱 |
| 外部尺寸mm | W950*D1180*H1410 | W950*D1180*H1710 | W1060*D1280*H1810 | W1060*D1480*H1660 | W1630*D1220*H1780 | W1430*D1020*H1880 |
| 层架 | 2PCS | 4PCS | ||||
| 电源 | AC 220V 50HZ | AC 380V 50HZ | ||||
| 功率 | 7KW | 9KW | 12KW | 16KW | 16KW | 18KW |
| 定时范围 | 0~99H/M/S | |||||
| 送风方式 | 单向水平送风 | |||||
| 升温时间 | RT~200℃约20min | |||||
| 控温方式 | P.I.D | |||||
| 结构设计 | 单门，控制柜位于顶部 | 多仓，控制柜位于侧面 | ||||
| 内部材料 | SUS304# | |||||
| 外部材料 | 钢板烤漆-拉丝或镜面不锈钢 | |||||
| 安全保护措施 | 1.接地保护 2.过载保护3. 相序保护 4.超温保护 5. 独立限温保护 | |||||
| 选配 | 7寸触摸屏HMI人机界面控制器（带历史曲线，USB转存储功能，配套PC端软件及联网端口），φ25mm/φ50mm/φ100mm测试孔 电磁门禁系统，温度校准，非标订制服务。 |
